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Telius (300mm) etch systems. Successor to the Unity, generally 4 chamber, but could support purge modules and other HW.文件
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TEL / TOKYO ELECTRON
TELIUS
已验证
类别
Plasma Etch
物品主要详细信息
状况：
Refurbished
运行状况:
未知
产品编号：
35687
晶圆尺寸：
未知
年份：
未知
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TEL / TOKYO ELECTRON
TELIUS
已验证
类别
Plasma Etch
上次验证： 60 多天前
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状况：
Refurbished
运行状况:
未知
产品编号：
35687
晶圆尺寸：
未知
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未知
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