说明

无说明

配置

This 200/ 300mm track system is built on a proven 200mm platform, the POLARIS 3500. Together with this machine a spare Staubli/FSI RX 90B Robot

OEM 型号描述

未提供

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TEL / FSI

POLARIS 3500

已验证

类别

Lithography

上次验证： 60 多天前

物品主要详细信息

状况：

Used

运行状况:

未知

产品编号：

14902

晶圆尺寸：

未知

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未知

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