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市场 > Lithography > NIKON > FX-55S

FX-55S

概述

Resolution (L/S) (switchable): ≦ 3 µm (i-line), ≦ 3.5 µm (g+h+i-line) Projection magnification: 1:1 Overlay: ≦ ±0.6 µm (3σ) Maximum plate size: 1,300 × 1,300 mm Takt time 59 sec./plate Conditions: 4 scans, g+h+i-line, 30 mJ/cm2

活动的上架物品

0

服务

检验、保险、评估、物流

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