说明
无说明配置
( 55 x2") Configuration Process GaN Batch size 2" * 55ea/ 4" * 13ea/ 6" * 6ea Electricity 208/ 120V AC,3 Phase Heater Voltage 380V AC,3 Phase Wiring 4 wire + Ground Temperature Monitor ARGUS x1 Hydride Lines NH3_1 / NH3_2 / SiH4 MO Source TMGa-1,TMGa-3,TEGa2, Cp2Mg-1, Cp2Mg-2, TMIn-1, TMAl-1 (7) Bath 2 sets of RE235 RAUDA bath 4 sets of NOAH Precision MFC Type Horiba Z500 Pump Scroll pump*1 Chiller AffinityOEM 型号描述
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AIXTRON
CRIUS II
已验证
类别
MOCVD
物品主要详细信息
状况：
Used
运行状况:
未知
产品编号：
46625
晶圆尺寸：
未知
年份：
2010
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Logistics Support
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Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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AIXTRON
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已验证
类别
MOCVD
上次验证： 60 多天前
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未知
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46625
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( 55 x2") Configuration Process GaN Batch size 2" * 55ea/ 4" * 13ea/ 6" * 6ea Electricity 208/ 120V AC,3 Phase Heater Voltage 380V AC,3 Phase Wiring 4 wire + Ground Temperature Monitor ARGUS x1 Hydride Lines NH3_1 / NH3_2 / SiH4 MO Source TMGa-1,TMGa-3,TEGa2, Cp2Mg-1, Cp2Mg-2, TMIn-1, TMAl-1 (7) Bath 2 sets of RE235 RAUDA bath 4 sets of NOAH Precision MFC Type Horiba Z500 Pump Scroll pump*1 Chiller AffinityOEM 型号描述
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