说明
无说明配置
无配置OEM 型号描述
Alcan (Canon): APEX single-chamber etch system. Helicon wave source licensed from Plasma and Materials Technology (MORI source), metal etch, poly etch.文件
无文件
CANON
APEX
类别
Dry / Plasma Etch
上次验证： 6 天前
物品主要详细信息
状况：
Used
运行状况:
未知
产品编号：
150464
晶圆尺寸：
未知
年份：
未知
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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Alcan (Canon): APEX single-chamber etch system. Helicon wave source licensed from Plasma and Materials Technology (MORI source), metal etch, poly etch.文件
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