说明
Main body. SMIF Loader Controller CRT Keyboard Through the wall SUS Front panel Al Side panel: Ni Coated Pump interface配置
Gas system: (5) MFC Tylan FC-2900 CF4, C12, N2, 02, NF3 Quartz tube protection C mictube ESC Uni1.ersal chuck, 8" Water auxiliariesOEM 型号描述
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SHIBAURA
CDE 80
类别
Dry / Plasma Etch
上次验证： 60 多天前
物品主要详细信息
状况：
Used
运行状况:
未知
产品编号：
29599
晶圆尺寸：
8"/200mm
年份：
未知
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
说明
Main body. SMIF Loader Controller CRT Keyboard Through the wall SUS Front panel Al Side panel: Ni Coated Pump interface配置
Gas system: (5) MFC Tylan FC-2900 CF4, C12, N2, 02, NF3 Quartz tube protection C mictube ESC Uni1.ersal chuck, 8" Water auxiliariesOEM 型号描述
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