
说明
ICP DRIE System, Includes: 1ea control cabinet w/ PDU, ENI RF generator, MKS Spectrum RF generator; 1ea SMC HRZ001-L-D recirculating chiller; 1ea Ebara SR20N vacuum pump; 1ea Ebara ESR20N-HT vacuum pump; 1ea Ebara vacuum pump配置
无配置OEM 型号描述
未提供文件
无文件
类别
Dry / Plasma Etch
上次验证: 11 天前
物品主要详细信息
状况:
Used
运行状况:
未知
产品编号:
149257
晶圆尺寸:
6"/150mm
年份:
未知
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
STS
VPX PEGASUS
类别
Dry / Plasma Etch
上次验证: 11 天前
物品主要详细信息
状况:
Used
运行状况:
未知
产品编号:
149257
晶圆尺寸:
6"/150mm
年份:
未知
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
说明
ICP DRIE System, Includes: 1ea control cabinet w/ PDU, ENI RF generator, MKS Spectrum RF generator; 1ea SMC HRZ001-L-D recirculating chiller; 1ea Ebara SR20N vacuum pump; 1ea Ebara ESR20N-HT vacuum pump; 1ea Ebara vacuum pump配置
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