说明
Dry Ecther配置
Transfer Module Cassette Stage Number 2 Transfer Chamber 1 Transfer Robot 1 Robot Type YASKAWA VS2C Process Chamber Module Process Chamber Number 2 Chamber Type IEM Gas O2, CHF3, Ar, CF4, C4F8, N2OEM 型号描述
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TEL / TOKYO ELECTRON
UNITY IIE-855II
已验证
类别
Dry / Plasma Etch
上次验证： 29 天前
物品主要详细信息
状况：
Used
运行状况:
未知
产品编号：
107209
晶圆尺寸：
8"/200mm
年份：
1996
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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UNITY IIE-855II
类别
Dry / Plasma Etch
上次验证： 29 天前
物品主要详细信息
状况：
Used
运行状况:
未知
产品编号：
107209
晶圆尺寸：
8"/200mm
年份：
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