说明
power 2 pump 4配置
Process Gas:CDA/P-N2/CF4/CHF3/Ar/He Process Chemical:OEM 型号描述
Plasma Etching Equipment文件
无文件
类别
Dry / Plasma Etch
上次验证： 30 多天前
物品主要详细信息
状况：
Used
运行状况:
未知
产品编号：
130419
晶圆尺寸：
6"/150mm
年份：
2001
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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TEL / TOKYO ELECTRON
UNITY IIE 655 PP
类别
Dry / Plasma Etch
上次验证： 30 多天前
物品主要详细信息
状况：
Used
运行状况:
未知
产品编号：
130419
晶圆尺寸：
6"/150mm
年份：
2001
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
说明
power 2 pump 4配置
Process Gas:CDA/P-N2/CF4/CHF3/Ar/He Process Chemical:OEM 型号描述
Plasma Etching Equipment文件
无文件