说明

TRION PHANTOM RIE (Upgradable to MINILOCK RIE) Installed and running Chiller included

配置

Can hold up to an 8" wafer Gasses: SF6, CF4, O2 Windows 3.1 Automatic temp control unit Vacuum Load Lock Down stream upgrade

OEM 型号描述

未提供

文件

无文件

TRION

PHANTOM II

已验证

类别

Dry / Plasma Etch

上次验证： 12 天前

物品主要详细信息

状况：

Used

运行状况:

未知

产品编号：

141653

晶圆尺寸：

6"/150mm, 8"/200mm

年份：

1994

Logistics Support

Available

Transaction Insured by Moov

Available

Refurbishment Services

Available

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TRION

PHANTOM II

Dry / Plasma Etch

年份： 0状况：二手

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上次验证： 12 天前

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物品主要详细信息

状况：

Used

运行状况:

未知

产品编号：

141653

晶圆尺寸：

6"/150mm, 8"/200mm

年份：

1994

Logistics Support

Available

Transaction Insured by Moov

Available

Refurbishment Services

Available

说明

TRION PHANTOM RIE (Upgradable to MINILOCK RIE) Installed and running Chiller included

配置

Can hold up to an 8" wafer Gasses: SF6, CF4, O2 Windows 3.1 Automatic temp control unit Vacuum Load Lock Down stream upgrade

OEM 型号描述

未提供

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