说明

Configured for 6" Wafers Standard Chuck LAM RESEARCH 13.56 MHz RF Power Source MKS Type 651 Pressure Controller UNIT Model UPC 1300 – HE 50 sccm TYLAN Model FC-280S – N2 1 slpm TYLAN Model FC-280S – N2 100 sccm TYLAN Model FC-280S – N2 500 sccm TYLAN Model FC-280S – N2 500 sccm TYLAN Model FC-280S – N2 1 slpm TYLAN Model FC-280S – N2 500 sccm Software Version V3.11

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DRYTEK

384T

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类别

Etch/Asher

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产品编号：

19861

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