说明

MESC multiplex AOE

配置

Dry Etcher

OEM 型号描述

The STS MULTIPLEX ICP is an etch system. The STS MULTIPLEX ICP can be used with 2” wafer sizes. It has a silicon material plate and ASE polymer system processer.

文件

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STS

MULTIPLEX ICP

已验证

类别

Etch/Asher

上次验证： 60 多天前

物品主要详细信息

状况：

未知

运行状况:

未知

产品编号：

42991

晶圆尺寸：

4"/100mm, 5"/125mm, 6"/150mm

年份：

未知

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年份： 0状况：二手

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上次验证： 60 多天前

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状况：

未知

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未知

产品编号：

42991

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The STS MULTIPLEX ICP is an etch system. The STS MULTIPLEX ICP can be used with 2” wafer sizes. It has a silicon material plate and ASE polymer system processer.