说明

I-line Stepper

配置

6" Reticle , 12: wafer, Power(1130.24mW), Uniformity(2.385), Stepping :(step8, 12)(back 12, 13), Dis(X:-12.9 ~ 13) (Y-36~ 6)

OEM 型号描述

i-line Steppers Throughput: ≧ 100 wafers/hour (300 mm wafer), ≧ 120 wafers/hour (200 mm wafer). NSR-SF140 (resolution ≦ 280 nm).

文件

无文件

NIKON

NSR-SF140

已验证

类别

I-Line

上次验证： 60 多天前

物品主要详细信息

状况：

Used

运行状况:

未知

产品编号：

95298

晶圆尺寸：

12"/300mm

年份：

2005

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未知

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配置

6" Reticle , 12: wafer, Power(1130.24mW), Uniformity(2.385), Stepping :(step8, 12)(back 12, 13), Dis(X:-12.9 ~ 13) (Y-36~ 6)

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