说明
无说明配置
Accelaration voltage: 50 kV Field size: 1600 μm x800 μm Beam current: 3.5 μA Beam size: 4 μm x4 μm variable shaped beam Scanning speed: 8 MHz Stitching accuracy: 45 nm Overlay accuracy: 45 nm Substrate size: 3 inchOEM 型号描述
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ADVANTEST
F5112
类别
Lithography
上次验证： 60 多天前
物品主要详细信息
状况：
Used
运行状况:
未知
产品编号：
134374
晶圆尺寸：
未知
年份：
2001
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
说明
无说明配置
Accelaration voltage: 50 kV Field size: 1600 μm x800 μm Beam current: 3.5 μA Beam size: 4 μm x4 μm variable shaped beam Scanning speed: 8 MHz Stitching accuracy: 45 nm Overlay accuracy: 45 nm Substrate size: 3 inchOEM 型号描述
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