说明

Overlay Measurement System

配置

OEM: ASML Retrofit Part Type 1: NA Chamber Name 1: 1 Not Sold with Tool Description 1: LAMP, YS MS IMA LPPS QCM N2 Load Port Exists 1: No N2 Load Port Exists 2: No Optional Gas 1: NA

OEM 型号描述

未提供

文件

无文件

ASML

YieldStar S250

已验证

类别

Overlay

上次验证： 60 多天前

物品主要详细信息

状况：

Used

运行状况:

未知

产品编号：

43889

晶圆尺寸：

12"/300mm

年份：

未知

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Logistics Support

Available

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Available

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Available

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