说明

无说明

配置

PECVD The tool is missing the turbo pump Gases: CF4, H2, Ar, O2 6” only (load-lock)

OEM 型号描述

未提供

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PlasmaQuest

ECR

已验证

类别

PECVD

上次验证： 6 天前

物品主要详细信息

状况：

Used

运行状况:

未知

产品编号：

140329

晶圆尺寸：

6"/150mm

年份：

未知

Logistics Support

Available

Transaction Insured by Moov

Available

Refurbishment Services

Available

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PlasmaQuest

ECR

PECVD

年份： 0状况：二手

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产品编号：

140329

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