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NIKON NSR-S208D
    说明
    Lithography Step and repeat scanning system Fab Section - Lithography
    配置
    Software Version - 1.80 MCSW+OCS CIM - SECS Process - Exposure Wafers ( 248nm ) KrF
    OEM 型号描述
    NSR-S208D (resolution ≦ 110 nm).
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    状况：

    Used

    运行状况:

    未知

    产品编号：

    131887

    晶圆尺寸：

    未知

    年份：

    2011

    Logistics Support
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