说明
Scanner配置
Exposure Light Source: ArF Excimer Laser Wavelength: 193 NA: 0.85 Resolution: 80nm Alignment Accuracy: 12nm Exposure Field: 26x33mm Reduction Ration: 1:4OEM 型号描述
NSR-S307E (resolution ≦ 80 nm).文件
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NIKON
NSR-S307E
类别
Steppers & Scanners
上次验证： 今天
物品主要详细信息
状况：
Used
运行状况:
未知
产品编号：
145516
晶圆尺寸：
12"/300mm
年份：
2007
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available