说明
HiK backside cleans with HF and HF/HNO3, Frontside SPM post ash, trench hardmask removal with HF/H2SO4 (IBM paid tool) - MPC3,MPC4 Nitric配置
无配置OEM 型号描述
The 'SU-3100' Single-wafer cleaning system. Up to 8 built-in chambers and superior 300 wafer per hour productivity.文件
无文件
类别
Wet Benches - Auto
上次验证： 60 多天前
物品主要详细信息
状况：
Used
运行状况:
未知
产品编号：
128084
晶圆尺寸：
12"/300mm
年份：
未知
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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SCREEN / DNS / DAINIPPON SCREEN
SU-3100
类别
Wet Benches - Auto
上次验证： 60 多天前
物品主要详细信息
状况：
Used
运行状况:
未知
产品编号：
128084
晶圆尺寸：
12"/300mm
年份：
未知
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
说明
HiK backside cleans with HF and HF/HNO3, Frontside SPM post ash, trench hardmask removal with HF/H2SO4 (IBM paid tool) - MPC3,MPC4 Nitric配置
无配置OEM 型号描述
The 'SU-3100' Single-wafer cleaning system. Up to 8 built-in chambers and superior 300 wafer per hour productivity.文件
无文件