说明
Picosun Morpher_AI203 & HfOx_2cb配置
2 chambers per tool. Batch of 24 wafers per run. 1. 1x Fortrend Plus 500R-L 2. 1x Fortrend Plus 500R-R 3. 2x EBARA pump EV-X200 4. 3x EBARA pump EV-S20P 5. 1x Abatement Kanken KT1000FA-DOEM 型号描述
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PICOSUN
Morpher
类别
ALD
上次验证： 60 多天前
物品主要详细信息
状况：
Used
运行状况:
未知
产品编号：
115824
晶圆尺寸：
未知
年份：
未知
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
说明
Picosun Morpher_AI203 & HfOx_2cb配置
2 chambers per tool. Batch of 24 wafers per run. 1. 1x Fortrend Plus 500R-L 2. 1x Fortrend Plus 500R-R 3. 2x EBARA pump EV-X200 4. 3x EBARA pump EV-S20P 5. 1x Abatement Kanken KT1000FA-DOEM 型号描述
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