说明
Atomic Layer Deposition 1. 1 x Fortrend Plus 500R-L 2. 1 x Fortrend Plus 500R-R 3. 1 x EBARA Pump EV-X200 4. 3 x EBARA Pump EV-S20P 5. 1 x Abatement Kanken KT1000FA-D配置
1 chamber configuration 1 X Picosun Morpher F Brooks MX 700 Aligner, VCE X 2 Al2O3 with O3 and H2O HfO2OEM 型号描述
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PICOSUN
Morpher
类别
ALD
上次验证： 昨天
物品主要详细信息
状况：
Used
运行状况:
Installed / Idle
产品编号：
142344
晶圆尺寸：
8"/200mm
年份：
未知
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
说明
Atomic Layer Deposition 1. 1 x Fortrend Plus 500R-L 2. 1 x Fortrend Plus 500R-R 3. 1 x EBARA Pump EV-X200 4. 3 x EBARA Pump EV-S20P 5. 1 x Abatement Kanken KT1000FA-D配置
1 chamber configuration 1 X Picosun Morpher F Brooks MX 700 Aligner, VCE X 2 Al2O3 with O3 and H2O HfO2OEM 型号描述
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