说明
无说明配置
• 2× Top Coater modules • Hotplate stack (Bake) • Coldplate stack (Chill) • SUSS CPD non-contact centering • Sankyo dual-arm wafer handling robot • 4× I/O interfaceOEM 型号描述
Priming + Spin Coating + Spray Coating + Baking + Development up to 200 mm文件
无文件
类别
Coaters & Developers
上次验证： 13 天前
物品主要详细信息
状况：
Used
运行状况:
未知
产品编号：
142290
晶圆尺寸：
8"/200mm
年份：
2013
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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SUSS MicroTec / KARL SUSS
GAMMA
类别
Coaters & Developers
上次验证： 13 天前
物品主要详细信息
状况：
Used
运行状况:
未知
产品编号：
142290
晶圆尺寸：
8"/200mm
年份：
2013
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
说明
无说明配置
• 2× Top Coater modules • Hotplate stack (Bake) • Coldplate stack (Chill) • SUSS CPD non-contact centering • Sankyo dual-arm wafer handling robot • 4× I/O interfaceOEM 型号描述
Priming + Spin Coating + Spray Coating + Baking + Development up to 200 mm文件
无文件