说明
Deposition chamber配置
Chamber only W deposition CHA: LFW CHB: WCN CHC: PCMax2 DegasOEM 型号描述
Lam Research's ALTUS family is a suite of semiconductor processing equipment designed for advanced thin-film metallization (contacts, vias, plugs, 3D NAND wordlines, and interconnects).文件
无文件
类别
CVD
上次验证： 3 天前
物品主要详细信息
状况：
Used
运行状况:
未知
产品编号：
155203
晶圆尺寸：
未知
年份：
未知
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
LAM RESEARCH CORPORATION
Altus
类别
CVD
上次验证： 3 天前
物品主要详细信息
状况：
Used
运行状况:
未知
产品编号：
155203
晶圆尺寸：
未知
年份：
未知
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
说明
Deposition chamber配置
Chamber only W deposition CHA: LFW CHB: WCN CHC: PCMax2 DegasOEM 型号描述
Lam Research's ALTUS family is a suite of semiconductor processing equipment designed for advanced thin-film metallization (contacts, vias, plugs, 3D NAND wordlines, and interconnects).文件
无文件