说明
High Energy Implanter 1.2 MeV配置
-Set up for Open 6 inch wafer cassette loading Seiko Seiki Pumps with Edwards rough pumps. CTi Cryos. ELS source - LINAC with resonators - Gas Box - PH3 SDS, BF3, Xe and Ar - StandardOEM 型号描述
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AXCELIS
NV GSD/HE
类别
High Current
上次验证： 4 天前
物品主要详细信息
状况：
Used
运行状况:
Installed / Down
产品编号：
148407
晶圆尺寸：
6"/150mm
年份：
2000
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
说明
High Energy Implanter 1.2 MeV配置
-Set up for Open 6 inch wafer cassette loading Seiko Seiki Pumps with Edwards rough pumps. CTi Cryos. ELS source - LINAC with resonators - Gas Box - PH3 SDS, BF3, Xe and Ar - StandardOEM 型号描述
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