说明
Metrology / inspection system配置
KT Tencor Robot Handler (Qty 3) FOUP Factory Interface SS10k Subsystem RPRC SS10k Subsystem RP SS10k Subsystem LDSR Process: Optical Critical Dimensions Software Version: rev 6.20.31.11001 CIM: SECS/GEMOEM 型号描述
未提供文件
无文件
类别
Metrology
上次验证： 6 天前
物品主要详细信息
状况：
Used
运行状况:
未知
产品编号：
154820
晶圆尺寸：
12"/300mm
年份：
2013
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
KLA
SpectraShape 9010
类别
Metrology
上次验证： 6 天前
物品主要详细信息
状况：
Used
运行状况:
未知
产品编号：
154820
晶圆尺寸：
12"/300mm
年份：
2013
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
说明
Metrology / inspection system配置
KT Tencor Robot Handler (Qty 3) FOUP Factory Interface SS10k Subsystem RPRC SS10k Subsystem RP SS10k Subsystem LDSR Process: Optical Critical Dimensions Software Version: rev 6.20.31.11001 CIM: SECS/GEMOEM 型号描述
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