说明

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OEM 型号描述

20 (automatic operation) (6-inch wafer, 5-point measurement) wafer sizes: 5, 6, 8

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HITACHI

S-8820

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类别

CD-SEM

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状况：

Used

运行状况:

未知

产品编号：

137478

晶圆尺寸：

未知

年份：

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