说明
Alliance (A6) TCP 9400DFM配置
Transport Module / TCP9400DFM-P Modules for Tungsten Silicide Etch Software: A4.0-37VM PM4 - TCP9400DFM-P - Wsix Etch ESC - Anodized Aluminum Interferometer EP - PM4 Enhanced Universal Gas box - 12 Stick PM4 Gas Box: (10) - Brooks GF125 Brooks Automation Mag 7 Dry Pumps: Busch DS80 Cobra (1) Busch BA100 (2) Chillers: TCU - Edwards 40/80 Plus (1) RPM - Voltage SAG EnhancedOEM 型号描述
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类别
Dry / Plasma Etch
上次验证： 60 多天前
物品主要详细信息
状况：
Used
运行状况:
未知
产品编号：
127101
晶圆尺寸：
8"/200mm
年份：
2014
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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LAM RESEARCH CORPORATION
ALLIANCE 6 (A6)
类别
Dry / Plasma Etch
上次验证： 60 多天前
物品主要详细信息
状况：
Used
运行状况:
未知
产品编号：
127101
晶圆尺寸：
8"/200mm
年份：
2014
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
说明
Alliance (A6) TCP 9400DFM配置
Transport Module / TCP9400DFM-P Modules for Tungsten Silicide Etch Software: A4.0-37VM PM4 - TCP9400DFM-P - Wsix Etch ESC - Anodized Aluminum Interferometer EP - PM4 Enhanced Universal Gas box - 12 Stick PM4 Gas Box: (10) - Brooks GF125 Brooks Automation Mag 7 Dry Pumps: Busch DS80 Cobra (1) Busch BA100 (2) Chillers: TCU - Edwards 40/80 Plus (1) RPM - Voltage SAG EnhancedOEM 型号描述
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